Breaking the "Technology Black Box": Shanghai AI Lab and Others Overcome Challenges in Stable Preparation of Photoresist, a Core Material for Chips
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IT之家
IT之家 5 月 12 日消息,上海人工智能实验室(上海 AI 实验室)昨日发文,联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位基于“书生”科学大模型与“书生”科学发现平台,构建了“AI 决策 + 自动化合成”的闭环研发体系,实现了高纯度、高一致性、高效率的 KrF(氟化氪)光刻胶树脂创制。 官方表示,这一突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖于极少数国外供应商的“黑箱能力”,为全球芯片材料领域探索出一条可标准化、快速迭代的新路径。相关公司基于光刻胶配方开发经验,完成了树脂适配,产业关键指标均达预期,后续将进入客户端验证阶段。 ▲ 光刻胶树脂自动化制备 IT之家获悉,长期以来,高端树脂材料开发受制于“经验驱动”的试错路径,科研人员需在数以千计的单体配比、聚合体系及反应条件中进行逐一筛选,这种低密度的实验范式导致研发周期动辄以月为单位,且极易受人为操作误差影响,难以满足成熟制程对材料批次稳定性的严苛要求。 联合团队研发了面向先进材料光刻胶树脂设计的智能化合成平台:采用高度模块化并行架构,依托多反应器、多工作站协同布局,实现了从液体精准转移、惰性气氛保护到多级自动化后处理的全流程闭环运行;搭载精
